1、卸载伺服行星减速机上壳体。
该设备有半联轴器的，先拆下半联轴器。拆除固定螺栓，将螺母旋到螺栓上妥善保管，检查上壳体有无残缺和裂纹。打好装配印记，拆卸轴承端盖。先检查有无漏拆的螺栓和其他异常情况，确认无误后，将上壳体用顶丝顶起，吊起放于备好的垫板上。用塞尺或压铅丝法测量各轴承间隙，每套轴承应多测几点，并做好记录。将伺服行星减速机内润滑油放净，存入专用油桶。
2、出主动轴、从动轴总成。
在齿轮啮合处打好印记。吊出后各齿轮总成放在干燥的木板上，排放整齐、稳妥，防止碰伤，拆卸各轴轴承和齿轮。
3、用煤油清洗轴承、箱体和齿轮，为后续检查做好准备。
在清洗伺服行星减速机的内部配件时，一定要格外仔细，严格按照规定的操作方法进行，以免在清洗过程中造成设备损坏，从而影响设备使用。
伺服行星减速机在使用一段时间之后，相应配件都会有不同程度的污垢，长时间不清洗会导致设备使用效率下降，所以定期的清洗必不可少。 
